BSR-1000, BSR-2000, SEM-REELS의 적용 목적과 제품 검토 포인트를 정리한 제품 안내 자료입니다.
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자료실은 제품 검토와 기술 상담에 필요한 카탈로그, 사양표, 기술 문서, 적용분야 자료를 제공하는 정보 허브입니다.
웨이퍼 백사이드 리뷰 장비 도입 시 확인해야 할 시료, 핸들링, 검출기, 출력 항목을 정리했습니다.
전자빔 조사, 신호 발생, 검출, 이미지 형성까지 SEM 관찰 흐름을 기술 구매자 관점에서 설명합니다.
CD 계측, 결함 리뷰, 공정 모니터링, 백사이드 분석 등 반도체 제조 현장의 적용 방향을 정리했습니다.
상담 전 확인하면 좋은 시료 정보, 목표 해상도, 자동화 범위, 설치 환경, 유지보수 이슈를 정리했습니다.