Product List
SEM 제품 라인업
제품 목록에서 장비의 적용 목적과 개발 단계를 확인하고, 상세 페이지에서 성능 포인트·사양·응용 분야·문의 흐름을 검토할 수 있습니다.
ALLReview SEMRoadmapAnalysis Technology
SEM Products
SEM Products
반도체 공정의 검사·리뷰·분석 목적에 따라 제품을 선택할 수 있습니다.
상담 가능
BSR-1000
Backside Review SEM300mm 웨이퍼 백사이드 결함을 Fab 내에서 비파괴 방식으로 리뷰하고 SEM 관찰·성분 분석·공정 피드백을 연결합니다.
- 300mm Wafer
- Non-destructive Review
- SEM + EDS
개발 로드맵
BSR-2000
Next-generation In-Line SEMBSR-1000 경험을 기반으로 차세대 In-Line SEM, HBM4/HBF 공정, Flip System, 국산화 방향을 검토하는 로드맵 모델입니다.
- 300mm Backside Review
- HBM4 / HBF
- Flip System
기술 로드맵
SEM-REELS
SEM-REELSKRISS 협력 기반의 SEM 확장 분석 기술로, 표면·계면 특성 평가와 차세대 분석 응용을 목표로 개발 중입니다.
- KRISS Collaboration
- Surface / Interface
- SEM Extension