Support

제품 문의와 기술 상담을 한 곳에서 시작하세요

제품명만으로는 적합한 SEM 구성을 판단하기 어렵습니다. 검토 중인 공정, 시료, 결함 유형, 자동화 수준, 유지보수 이슈를 함께 받아 계측·검사 목적에 맞는 상담을 시작합니다.

제품 문의

BSR-1000, CD-SEM, Review SEM, 맞춤 솔루션 구성 검토

공정 상담

결함 리뷰, VC 결함, 백사이드 분석, 성분 분석 목적 확인

자료실

카탈로그, 제품 자료, 사양표 다운로드 영역

기술지원

Recipe, ADR/ADC/EDS, 데이터 업로드, 운영 조건 관련 상담

유지보수 / 리퍼비시

레거시 장비 유지관리, 부품 대응, 로봇 오버홀 상담

문의 내용을 보내주시면 담당자가 검토 후 연락드립니다.